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机械设备行业研究报告:中银国际-机械设备行业半导体设备国产化专题八:工艺控制与量测设备,国际品牌垄断市场,但国产品牌正取得突破-191205

行业名称: 机械设备行业 股票代码: 分享时间:2019-12-05 13:46:33
研报栏目: 行业分析 研报类型: (PDF) 研报作者: 杨绍辉,陈祥
研报出处: 中银国际 研报页数: 8 页 推荐评级: 强于大市
研报大小: 961 KB 分享者: ite****rm 我要报错
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【研究报告内容摘要】

      半导体的工艺控制、良率管理、量测设备,主要包括尺寸测量和缺陷检测,尺寸测量包括膜厚检测、粗糙度测量、套刻误差测量、OCD测量、掩模板测量等,缺陷检测包括无图形晶圆检测、有图形晶圆检测、电子束复检设备等。全球工艺控制与量测设备主要被KLA、应用材料、Hitachi垄断,国产品牌上海睿励、中科飞测、...展开全文>>

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